國產LED(發光二極管)外延芯片核心設備MOCVD(金屬有機物化學氣相淀積)近日在廣東昭信公司成功下線。去年1月，昭信集團與華中科技大學簽約研發LED外延芯片核心設備MOCVD，不到一年，這一設備成功推向市場，一旦國產 MOCVD設備產業化推向市場，將使LED芯片生產投資成本大大降低，給國內LED產業帶來革命性影響，國內甚至國外的LED封裝產品價格將大大下降。國產LED核心裝備正在突圍，但是，國產MOCVD設備的成功下線能否變LED外延芯片核心裝備市場格局還有待市場的檢驗。

　　設備國產化大大降低LED成本

　　MOCVD是LED外延芯片生產過程中最重要的設備，目前，世界范圍內能夠生產這一設備的企業也不過3到5家，主要包括德國愛思強(Aixtron，70%國際市場占有率)、英國托馬仕雯(ThomasSwan，被Aixtron收購)、美國維易科(Veeco，20%國際市場占有率)、美國Emcore(被Veeco收購)、日本大陽酸素(Sanso，7%國際市場占有率，主要在本國銷售)。國內LED廠家所需的設備必須進口，而此類設備每臺約需1500萬元，購置成本約占整個LED生產線成本的2/3。蘇州納晶光電有限公司董事長、中科院蘇州納米所研究員、博士生導師梁秉文博士表示，MOCVD等關鍵設備國產化的成功必定意味著LED成本的降低。“目前，這些設備相對而言非常貴，正常情況下，在最初幾年，設備的折舊大約占整個LED芯片成本的12%-40%左右，因此關鍵設備的國產化會大大降低LED的制造成本。”梁秉文表示。

　　福建省光電子行業協會秘書長、原中國光學光電子行業協會光電器件分會秘書長彭萬華在接受記者采訪時表示，目前全球能制造MOCVD 外延爐設備的有美國、德國、日本和韓國，我國也有幾個單位研制了MOCVD設備，也出過樣機供使用單位試用，但不知為什么就沒有進展下去。“因為 MOCVD設備是LED產業發展的最關鍵設備，對LED產業發展具有舉足輕重的作用，國家相關部門要集中原來試制MOCVD設備的單位的人才和資源，集中投入進行重點開發，解決制造設備中的關鍵技術，掌握具有自主產權的核心技術，并盡早實現MOCVD設備國產化量產。只有這樣才會加快推動LED產業發展，降低LED相關產品的成本，實現更大的產業發展。”彭萬華認為。

　　隨著技術的發展和LED在綠色節能方面日益凸顯的優勢，LED在各個領域得到了越來越廣泛的應用，最初的技術障礙漸漸被消除，LED發展日新月異，旺盛的需求也刺激著LED芯片核心生產設備———MOCVD朝著低成本、高性能、高產能的方向發展。

　　工藝與設備相結合是推廣關鍵

　　沒有設備的工藝一定是紙上談兵，沒有工藝的設備將是無源之水。南昌大學副校長、晶能光電首席科學家江風益教授在接受《中國電子報》記者采訪時表示，開展生產型 MOCVD設備要充分考慮工藝與設備的結合，設備和工藝兩者都不能偏廢。江風益建議，國家不但要資助MOCVD設備的研發，還要在研發階段資助外延生產企業去試用MOCVD。因為在試用過程中，企業不是穩定生產，需要耗巨資根據設備特性摸索外延生產工藝。要摸索出成功的外延生產工藝所花費的人力物力財力，甚至要超過設備本身的研發費用。

　　中國LED產業要想健康、迅速的發展，一定要在關鍵設備上下工夫。梁秉文認為，MOCVD等關鍵裝備是一個體現國家意志的事，國家一定要大力地投入，全面地支持去做這件事。特別要注意工藝與設備的結合，要鼓勵外延芯片廠商應用國產設備，同時要給予一定的資助。

　　作為設備的制造商，不斷完善設備各種性能，適應客戶需求是永恒的主題。甘志銀表示，在樣機下線后，他們的研發團隊還將閉關約4個月，他們會根據客戶的數據要求，對該設備進行調試，到第5、6月份就將進入量產并接受訂單。“我們正在數據整理過程中，我們會用最短的時間給我們的客戶一個滿意的答案，我們做這臺設備的目標就是要直接與國外產品進行競爭，我們會不斷地展示并完善我們設備的進展，最終讓設備走向市場。”甘志銀在接受《中國電子報》記者采訪時表示。

　　隨著LED應用的不斷深入和擴展，上游關鍵設備的產業化必將得到進一步發展。甘志銀表示，昭信還將會陸續推出更高產能的單腔與多腔體設備。我們有理由相信，昭信半導體MOCVD設備將成為改變中國乃至世界MOCVD設備市場格局的重要力量。